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2，根据权利要求1所述的直拉式单晶生长炉，其特征在于还包括设于该炉的坩埚支持器(14)下方和该部的排气口(13)之间的气流导向装置(20)。与氩气输入管(12)相连通的环形气体分布器(11)。权利要求1其特征在于经氩气输入管(12)输入的氩气气压为0.8×103Pa0.9×103Pa该气流导向装置(20)为碗形。一种直拉式单晶生长炉，包括设于该炉顶部并伸入炉内的氩气输入管(12)其包括设于气流导向装置(20)底部的中轴孔(2-1)该炉的石墨中轴(21)穿过所疼气流导向装置(20)的中轴孔(2-1)气流导向装置(20)的上端部(2-4)设于该炉的保温筒(17)与发热体(16)之间。3其特征在于所述气流导向装置(20)的电极孔(2-2)分别与该炉的电极柱(15)密封连接。

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因此系统结构简单，具有用电省， 发热小的特点。系统可靠性很高，不会死机。同时触摸屏和PLC间工作，连接仅仅使用1根通讯线即可。(2) 控制软件，系统能按照工艺员写入的工艺文件，进行半自动拉晶，可以在显示器上修改，立即生效，作方便。自动工艺可以单步执行也可以连续自动流程。在温度闭环上增加率限制，信号故障判断诊断能，可以排除观察孔污染，信号扰，加热电源故障，加热器短路，加热器电阻突变。工业彩色触摸屏电气特点(1)本系统采用PLC人工输入失误等错误。(3) 工作站系统。加热后工件随炉冷却 C． 井式炉 D． 罩式炉（主要用于退火，加热罩可吊移）　E． 底升式罩式炉（罩子固定，升降底座，适用于大型炉子）F． 转筒式炉 G． 密封箱式炉（又称为多用炉，可进行渗碳，光洁淬火，碳氮共渗等热工艺。采用辐射管加热，辐射管是由耐火陶瓷盘固定的电阻丝装于一个密封耐热钢管中。用作退火之用周期式电阻炉的分类A． 箱式炉 B． 台车炉（分为自行式和牵引式）这样的结构使炉内气氛对加热元件不会有影响）。